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产品简介
感应式PVT AlN生长设备是自主研发的感应式加热炉，具有高稳定性、高真空度和精确控制系统的AlN晶体生长系统，适用于商业化批量生长大尺寸AlN晶体，可实现AlN晶体的同质和异质外延生长。
技术参数 | |
生长工艺 | PVT |
产品类型 | 非标定制 |
加热方式 | 感应加热（中频感应加热） |
**温度 | 2400℃ |
系统停泵关机12小时后真空度 | ≤5Pa |
控制方式 | PLC集成控制 |
系统极限真空度 | ≤8×10-5 Pa (经烘烤除气后) |
系统真空检漏漏率 | ≤5.0×10-7 Pa.l/S |
冷却方式 | 循环水路系统 |
控压范围 | 20-80kpa |
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